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金牌娱乐平台官方网在投企业微导纳米首套300mm晶圆先进集成电路制造ALD量产装备发货

发布时间:2020-12-29 浏览:691

      

       近日,金牌娱乐平台官方网在投企业江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”) 自主研发的首套用于300mm晶圆先进集成电路制造的商业化原子层沉积(ALD)薄膜沉积量产装备发货。

       微导纳米公司成立于2015年12月25日,经过五年的技术攻关,微导纳米将技术转化为产品,设备制造和工艺技术不断突破,成为以先进集成电路制造关键装备为核心的尖端装备制造商。微导纳米技术团队克服了重重困难,经过长期潜心钻研和大量的实验验证,突破限制半导体ALD薄膜沉积装备和工艺制程的多个技术瓶颈,成功开发出可用于沉积high-ĸ栅氧层薄膜的新一代ALD量产设备。微导纳米再一次突破技术“无人区”,谱写新的重要里程碑。

       2020年末,微导纳米n型TOPCon结构高效电池技术的也取得新的成果,ZR5000×2批量型等离子体增强ALD镀膜系统以及当前全球产能最大的KF10000S等一系列光伏装备,获得包括阿特斯、隆基、爱旭等多家重要光伏客户多个订单。ZR5000×2批量型PEALD镀膜系统,集成PEALD与PECVD技术,对晶硅太阳能电池表面钝化膜和减反膜进行批量制备,可用于PERC高效电池技术及TOPCon等下一代电池技术的接触钝化。目前微导纳米首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%,并有进一步的提升空间。为光伏产业后PERC时代的高效电池技术升级创造了必要的条件。同期,微导纳米FG系列卷对卷原子层沉积薄膜系统也已正式发货量产。微导纳米自主开发的FG3000卷对卷ALD镀膜系统,代表了最新一代原子层沉积技术在柔性电子材料领域的突破。FG3000卷对卷ALD镀膜系统采用微导自主产权的FGAgent材料工艺,主要用于柔性电子封装材料领域,为中、高端高阻膜,包括OLED、LCD等先进显示技术所需各类柔性电子材料提供高性能阻水阻氧薄膜,加工幅宽可达1450mm,年产能可达百万平方米,水汽透过率性能可达10-3g/m2/Day。在ALD技术领域中是目前已知产能最大、镀膜质量最高的商业化柔性材料镀膜设备之一,技术具有国际先进水平。

       未来,微导纳米将继续秉持“通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机”的使命,以原子层沉积技术为核心,致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用,为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。值此微导纳米五周年,祝愿微导纳米在行业发展良好势头中,再创伟业,再铸辉煌!

       微导纳米是金牌娱乐平台官方网于2019年12月投资的一家高新技术企业。公司以原子层沉积技术为核心,致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用,为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。